多晶硅還原電極的制作方法
發(fā)布時(shí)間：2022-6-22 11:35:07 來源:http://f9fvx1.cn/ 作者: 鎮(zhèn)江市旺盛合金材料有限公司
多晶硅還原電極主要由還原爐鐘罩和還原爐底盤組成，其中還原爐底盤上安裝有電極組件，目前采用的還原爐電極主要包括電極體、加熱石墨頭硅芯，電極體是影響多晶硅純度的關(guān)鍵部件之一。一個(gè)理想的電極體特征為：接觸電阻小，節(jié)約電能；不與爐內(nèi)還原氣體反應(yīng)，減少爐內(nèi)氣氛污染，提高多晶硅純度；不易腐蝕，壽命長，提高生產(chǎn)效率，節(jié)約成本；同時(shí)工作時(shí)與還原爐底盤絕緣。
傳統(tǒng)的電極體成分為銅，構(gòu)造以位于電極中上部的凸起作為分界可以劃分為電極上端和電極下端兩部分，電極體上端依次有錐形段和圓柱段，其中電極體錐形段用以定位連接石墨組件和硅芯，錐形段為提高導(dǎo)電性和耐腐蝕性能，設(shè)置有銀涂層；凸起定位連接電極與底盤，電極下端安裝在底盤電極槽內(nèi)，其中電極體卡槽與電極體之間用絕緣套筒進(jìn)行絕緣，絕緣套筒的成分為聚四氟乙烯。
多晶硅還原電極工作時(shí)，為降低還原爐電極體因?qū)Φ妆P放電而導(dǎo)致的還原爐跳停率，通常還需采用多層陶瓷筒對(duì)電極體進(jìn)行絕緣保護(hù)(陶瓷套筒成分為氧化鋁)，但由于還原爐在運(yùn)行時(shí)爐溫較高(為800℃-1200℃)，高溫下氧化鋁套筒容易熱應(yīng)變產(chǎn)生裂紋，被擊穿；聚四氟乙烯套筒也會(huì)在高溫下碳化失效，此外隨著使用時(shí)間增長，各絕緣套筒配合間隙間容易積硅等，會(huì)造成電極體與底盤之間擊穿，進(jìn)而導(dǎo)致生產(chǎn)事故。
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