多晶硅還原爐操作會發(fā)生什么危險？
發(fā)布時間：2013-8-27 10:07:47 來源: 作者: 鎮(zhèn)江市旺盛合金材料有限公司
新型多晶硅還原爐主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、混和氣進氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管、電極冷卻水進水管、電極冷卻水出水管及其他附屬部件組成，爐體主體采用不銹鋼材質(zhì)，以減少設備材質(zhì)對產(chǎn)品的污染，混和氣進氣管分為數(shù)個噴口均勻的設置在底盤上，在還原爐底盤上分三個圓周均勻布置十八對電極，最外一周布置九對電極，最內(nèi)一周布置三對電極，中間一周布置六對電極，以上設計使得還原爐內(nèi)部結(jié)構(gòu)布局合理，單臺爐每批次產(chǎn)量與現(xiàn)有還原爐比較有大幅度提升，多晶硅的綜合生產(chǎn)成本與能耗也相應降低。
一般的，市面上用的是二十四根的尋種還原爐，分為三個A\B\C三相電極。多晶硅還原爐操作會發(fā)生什么危險？氫氣可能泄露，引起爆炸；夾套或冷卻水供應不上燒壞爐子；電極與視鏡是整個還原爐最脆弱的地方，一定要保證冷卻水；停爐時要做好降溫與置換工作，尤其是對視鏡等檢修時要確保里面的氫氣置換完全，否則易發(fā)生事故。還原爐里面用的是純的氫氣及三氯氫硅，1100°條件左右進行反應，生成的硅沉積于硅棒表面，慢慢生長，一般要七十二小時以上不間斷地供料供電。爐壁式夾層用循環(huán)水進行冷卻。除非是爐子里面溫度1300°以上時，硅棒有可能融，但是硅液溢流的情況下可能會爆炸。溫度過高，壓力不要太大；爐壁的水千萬不可以漏在爐子里面，不然是會有危險的。
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